材料本身所具有的性能，需要通過(guò)正確的熱處理手段來(lái)達(dá)到。只有良好的熱處理手段，才能實(shí)現(xiàn)我們預(yù)想的性能期望。根據(jù)塑封模具材料性能要求，塑封模熱處理手段主要是高溫淬火、深冷處理、高溫回火，并多次反復(fù)，通過(guò)這些不同的處理，達(dá)到好的模具性能。

1、高溫淬火

為了提高材料的剛性和耐磨損性，一般材料均需加熱到1030℃以上。高溫下，各種合金元素充分溶解于奧氏體內(nèi)，以便在淬火時(shí)獲得高的基體硬度，同時(shí)為了保證零件不發(fā)生脫碳氧化，相應(yīng)采用了真空處理。目前半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)使用的高速率氣淬淬火爐，可以在高真空條件下通過(guò)氮?dú)獗Ｗo(hù)對(duì)工件進(jìn)行加熱，既保證了工件的脫碳氧化，又防止了合金元素的蒸發(fā)。同時(shí)采用200-500Kpa范圍內(nèi)可調(diào)節(jié)氣體壓力，對(duì)工件進(jìn)行淬火冷卻，在保證工件充分淬透的同時(shí)又減少了變形。

2、深冷處理與高溫回火

高合金鋼在淬火后，由于其馬氏體轉(zhuǎn)變點(diǎn)（Ms點(diǎn)）均高于室溫，為了提高硬度，保證尺寸穩(wěn)定性，通常要進(jìn)行深冷處理和高溫回火，以保證殘余奧氏體充分轉(zhuǎn)變?yōu)榉€(wěn)定的回火馬氏體。我們將經(jīng)過(guò)真空淬火后的工件，在室溫至100℃之間進(jìn)行校正，然后放入-140℃的深冷處理箱中進(jìn)行深冷。工件在不出爐的情況下，可以在-140℃至230℃之間進(jìn)行冷熱循環(huán)，保證工件不會(huì)因?yàn)檫M(jìn)出爐而產(chǎn)生變形或開(kāi)裂。同時(shí)由于采用氮?dú)獗Ｗo(hù)也避免了工件在回火中的氧化開(kāi)裂。目前對(duì)于D2類材料，我們通常在深冷設(shè)備中直接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環(huán)。對(duì)于高于230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用了真空回火爐，在抽真空后，加入99.999%的高純氮?dú)庾鳛榻橘|(zhì)，通過(guò)吹風(fēng)方向的改變來(lái)形成對(duì)流，保證了工件的溫度均勻性，同時(shí)節(jié)省了回火時(shí)間。

3、其它輔助手段

在提高了淬火回火及深冷處理質(zhì)量的同時(shí)，模具廠家對(duì)工件的其它環(huán)節(jié)給予了充分的重視，過(guò)去認(rèn)為的熱處理工件潔凈度與處理無(wú)關(guān)的觀點(diǎn)已經(jīng)被拋棄，增加潔凈預(yù)處理。即將未入爐零件，通過(guò)真空清洗機(jī)進(jìn)行真空去油、脫脂、干燥。去除了工件的各類加工油污和碎屑，保證了入爐工件不會(huì)帶入其它雜質(zhì)，避免了在高溫加熱時(shí)雜質(zhì)分解，污染爐內(nèi)環(huán)境和工件本身，從微觀上保證了工件的組織潔凈度和處理質(zhì)量的完美性，提高了工件的使用壽命。